최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
|
출원번호 | 10-2013-0058784 (2013-05-24) | |
등록번호 | 10-1426202-0000 (2014-07-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130058784 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2013-05-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
패드의 불균일한 마모 및 부분적인 깨짐을 방지하고 정전척 몸체와의 결합력을 증대시키는 패드를 가진 정전척 및 그 제조방법을 제시한다. 그 정전척 및 방법은 챔버의 안쪽에 안착된 정전척의 패드와 공간적으로 분리되어 있으며, 패드를 향하여 열에너지를 생성시키는 열원을 방출하여 패드를 열처리하는 조사부를 포함한다.
챔버;상기 챔버의 안쪽에 배치되며, 패드가 형성된 정전척을 안착시키는 지지대; 및 상기 챔버의 안쪽에 상기 패드와 공간적으로 분리되어 있으며, 상기 패드를 향하여 열에너지를 생성시키는 열원을 방출하는 조사부를 포함하고,상기 패드가 삽입될 수 있는 관통홀이 형성되어 있는 차단판을 포함하는 것을 특징으로 하는 패드를 가진 정전척 제조장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.