최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2013-0116246 (2013-09-30) | |
등록번호 | 10-1458864-0000 (2014-10-31) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130116246 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2013-09-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 기술에 따른 정전척은 냉각라인을 갖는 척 바디와, 척 바디의 상측에 배치되며, 전극이 내부에 수용되는 척 플레이트와, 척 바디와 척 플레이트 사이에 배치되어 척 플레이트를 가열시키는 히터와, 히터와 척 바디 사이에 배치되어 히터에서 발생된 열이 척 바디 측으로 이동되는 것을 감소시키는 온도전달방지 플레이트를 포함할 수 있다.
반도체 기판을 클램핑하는 정전척에 있어서,상기 정전척은,냉각라인을 갖는 척 바디와,상기 척 바디의 상측에 배치되며, 전극이 내부에 수용되는 척 플레이트와,상기 척 바디와 상기 척 플레이트 사이에 배치되어 상기 척 플레이트를 가열시키는 히터와,상기 히터와 상기 척 바디 사이에 배치되어 상기 히터에서 발생된 열이 상기 척 바디 측으로 이동되는 것을 감소시키는 온도전달방지 플레이트를 포함하고,상기 히터와 상기 온도전달방지 플레이트 사이 및 상기 온도전달방지 플레이트와 상기 척 바디 사이에는 접착층이 각각 배치되고,상기 온도전달방지 플레이
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.