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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0060658 (2014-05-21) | |
공개번호 | 10-2014-0138048 (2014-12-03) | |
등록번호 | 10-1899008-0000 (2018-09-10) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020130058145 (2013-05-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140060658 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-05-21) | |
심사진행상태 | 등록결정(취소환송후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판과, 상기 기판과 대향되는 영역에 위치하는 타겟과, 상기 타겟과 대향되는 영역에 위치하되, 수직 방향으로 길이를 갖고, 수평 방향으로 이격되어 배열된 다수의 마그넷부로 이루어진 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 각각의 마그넷부는 상기 타겟과의 거리를 독립적으로 조정할 수 있도록 상기 길이 방향으로 분할된 다수의 분할형 마그넷을 포함하는 분할형 마그넷을 포함하는 스퍼터링 장치를 개시한다.
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