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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0087762 (2014-07-11) | |
공개번호 | 10-2016-0007284 (2016-01-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140087762 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 기판의 온도를 측정하는 기판 온도 측정장치, 챔버 내부에서 기판 하부를 지지하는 기판 지지장치 및 기판의 열처리를 위한 기판 열처리 장치에 관한 것이다. 기판 온도 측정장치는, 챔버 내부에서 기판 하부를 지지하는 복수개의 지지핀을 구비한 지지바에 설치되는 기판 온도 측정장치로서, 지지바에 결합되며 상단이 기판 하부면과 이격하여 설치되는 센서 본체; 센서 본체에 구비되는 온도센서; 및 온도센서와 연결되어 챔버 외부로 인출되는 센서와이어; 를 포함한다. 이에 의해 기판에 스크래치가 발생하는 것을 방지하고, 기판 지지장치로부터
챔버(1) 내부에서 기판 하부를 지지하는 복수개의 지지핀(220)을 구비한 지지바(210)에 설치되는 기판 온도 측정장치로서,상기 지지바(210)에 결합되며 상단이 기판 하부면과 이격하여 설치되는 센서 본체(110);상기 센서 본체(110)에 구비되는 온도센서(120); 및상기 온도센서(120)와 연결되어 상기 챔버(1) 외부로 인출되는 센서와이어(130); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 온도 측정장치.
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