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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0171320 (2021-12-02) | |
공개번호 | 10-2023-0083162 (2023-06-09) | |
등록번호 | 10-2666440-0000 (2024-05-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210171320 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-12-02) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 감광액 공급 시스템을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 감광액 공급 시스템은, 약액 보틀에서 제1 탱크까지 연결되는 공급 라인에 제공되는 압력 조절 용기를 포함하고, 상기 압력 조절 용기는: 내부에 공간을 형성하는 하우징; 하우징의 공간을 제1 공간과 제2 공간으로 분리하는 분리막; 상기 제1 공간으로 감광액을 유입하는 유입 포트; 상기 제1 공간에서 감광액을 배출시키는 배출포트; 및 상기 제2 공간으로 가압 유체를 공급하는 가압 유체 유입 포트를 포함하고, 상기 가압 유체의 공급에 따라, 상기 제1 공간의 용적이 변경된
기판 처리 장치에 있어서,기판을 처리하는 공간을 가지는 챔버;상기 챔버 내에 제공된 노즐;상기 노즐로 감광액을 공급하는 액 공급 유닛을 구비하되,상기 액 공급 유닛은,감광액을 저장하는 약액 보틀;상기 약액 보틀에서 공급되는 감광액을 임시로 저장하는 트랩 탱크;상기 약액 보틀과 상기 트랩 탱크를 연결하는 공급 라인에 제공되는 압력 조절 용기; 상기 트랩 탱크에 저장된 상기 감광액을 상기 노즐로 공급하는 펌프 및; 제어기를 포함하고,상기 압력 조절 용기는:내부에 공간을 형성하는 하우징;상기 하우징의 공간을 제1 공간과 제2 공간으로 분
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