다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
|---|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
|
| 출원번호 | 10-2020-0141626 (2020-10-29) | |
| 공개번호 | 10-2022-0056937 (2022-05-09) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020200141626 | |
| 발명자 / 주소 |
|
|
| 출원인 / 주소 |
|
|
| 대리인 / 주소 |
|
|
| 법적상태 | 공개 |
감광액 관리 시스템이 제공된다. 감광액 관리 시스템은 감광액을 도포하는 스피너가 설치된 팹, 팹 외부에 배치되고, 감광액을 저장하는 저장 설비, 및 팹과 저장 설비 사이에, 감광액을 이송하는 운송 장치를 포함하고, 운송 장치는 저장 설비와 팹 사이에 배치되고, 제1 방향으로 구동하는 수평 운송 장치와, 수평 운송 장치에 연결되고 제1 방향과 다른 제2 방향으로 구동하는 수직 운송 장치를 포함한다.
감광액을 도포하는 스피너(spinner)가 설치된 팹;팹 외부에 설치되고, 상기 감광액을 저장하는 저장 설비; 및상기 팹과 상기 저장 설비 사이에, 상기 감광액을 이송하는 운송 장치를 포함하고,상기 운송 장치는 상기 저장 설비와 상기 팹 사이에 배치되고, 제1 방향으로 구동하는 수평 운송 장치와, 상기 수평 운송 장치에 연결되고 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 구동하는 수직 운송 장치를 포함하는 감광액 관리 시스템.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.