최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2020-0141626 (2020-10-29) | |
공개번호 | 10-2022-0056937 (2022-05-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200141626 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
법적상태 | 공개 |
감광액 관리 시스템이 제공된다. 감광액 관리 시스템은 감광액을 도포하는 스피너가 설치된 팹, 팹 외부에 배치되고, 감광액을 저장하는 저장 설비, 및 팹과 저장 설비 사이에, 감광액을 이송하는 운송 장치를 포함하고, 운송 장치는 저장 설비와 팹 사이에 배치되고, 제1 방향으로 구동하는 수평 운송 장치와, 수평 운송 장치에 연결되고 제1 방향과 다른 제2 방향으로 구동하는 수직 운송 장치를 포함한다.
감광액을 도포하는 스피너(spinner)가 설치된 팹;팹 외부에 설치되고, 상기 감광액을 저장하는 저장 설비; 및상기 팹과 상기 저장 설비 사이에, 상기 감광액을 이송하는 운송 장치를 포함하고,상기 운송 장치는 상기 저장 설비와 상기 팹 사이에 배치되고, 제1 방향으로 구동하는 수평 운송 장치와, 상기 수평 운송 장치에 연결되고 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 구동하는 수직 운송 장치를 포함하는 감광액 관리 시스템.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.