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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0111227 (2014-08-26) | |
공개번호 | 10-2016-0024473 (2016-03-07) | |
등록번호 | 10-1655849-0000 (2016-09-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140111227 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-08-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 다공성 연마입자 및 이를 포함하는 연마용 슬러리 조성물에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 다공성 연마입자의 기공 내에 산화촉진제가 함침되어 분산안정성을 높이고, 텅스텐의 토포그래피를 개선시킬 수 있는, 다공성 연마입자 및 이를 포함하는 연마용 슬러리 조성물에 관한 것이다.
기공을 포함하고, 상기 기공에 산화촉진제가 함침되어 있고,상기 함침된 산화촉진제는, 용적이 0.01 cm3/g 내지 0.10 cm3/g인 상기 기공 내 표면에 공유결합되어 형성되는 것이고,기공률이 5% 내지 50%인 구형의 실리카인,다공성 연마입자.
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