[특허]고단차 연마용 슬러리 조성물

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[한국특허] 고단차 연마용 슬러리 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	C09G-001/02 C09K-003/14 H01L-021/3105 H01L-021/321
출원번호	10-2016-0059622 (2016-05-16)
공개번호	10-2017-0128925 (2017-11-24)
등록번호	10-1827366-0000 (2018-02-02)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020160059622
발명자 / 주소	김정윤 / 경기도 평택시 참이슬길 , 동 호 (합정동, SK차 합정아파트) 황준하 / 경기도 평택시 중앙로 *, 동 **호 (비전동, 벽산아파트) 김선경 / 경기도 화성시 동탄공원로길 -, 동 호 (반송동, 시범다은마을풍성신미주아파트) 박광수 / 경기도 안성시 월덕천길 , 동 *호 (봉산동, 한주아파트)
출원인 / 주소	주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제공단길 **
대리인 / 주소	특허법인 무한
심사청구여부	있음 (2016-05-16)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 고단차 연마용 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 고단차 연마용 슬러리 조성물은 양전하로 분산된 금속산화물 연마입자를 포함하는 연마액; 및 양전하로 활성화될 수 있는 원소를 하나 이상 포함하는 고분자 중합체를 포함하는 첨가액;을 포함하고, 볼록부와 오목부를 갖는 산화막 패턴 웨이퍼에서의 단차 제거 속도와 산화막 평판 웨이퍼에서의 제거 속도의 연마 선택비가 5:1 이상인 것이다.

대표청구항

양전하로 분산된 금속산화물 연마입자를 포함하는 연마액; 및양전하로 활성화될 수 있는 원소를 하나 이상 포함하는 고분자 중합체를 포함하는 첨가액;을 포함하고,볼록부와 오목부를 갖는 산화막 패턴 웨이퍼에서의 단차 제거 속도와 산화막 평판 웨이퍼에서의 제거 속도의 연마 선택비가 5:1 이상인 것이고,상기 산화막 패턴 웨이퍼에서의 볼록부와 오목부의 제거 속도 선택비는 5:1 이상인 것인, 고단차 연마용 슬러리 조성물.

발명자의 다른 특허 :

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[한국] 연마제, 연마제 세트 및 기체의 연마 방법 | 아쿠츠, 도시아키, 미나미, 히사타카, 이와노, 도모히로, 후지사키, 고지
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[일본] POLISHING COMPOSITION | IZAWA YOSHIHIRO
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특허 원문 보기

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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