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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0161650 (2014-11-19) | |
등록번호 | 10-1608946-0000 (2016-03-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140161650 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-11-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 스퍼터링 장치용 마스크 쉴드 모듈에 있어서, 사각 프레임 형상으로 형성되어 상기 스퍼터링 장치에 결합되는 고정 프레임 및 상기 고정 프레임의 내측을 따라 결합되는 고정 마스크 쉴드를 구비하는 고정 마스크 유닛 및 상기 고정 마스크 유닛과 일체로 결합되고 분리되는 분리 마스크 유닛을 포함하는 마스크 쉴드 모듈 및 이를 포함하는 스퍼터링 장치를 개시한다.
스퍼터링 장치용 마스크 쉴드 모듈에 있어서사각 프레임 형상으로 형성되어 상기 스퍼터링 장치에 결합되는 고정 프레임 및 상기 고정 프레임의 내측을 따라 결합되는 고정 마스크 쉴드를 구비하는 고정 마스크 유닛 및 상기 고정 마스크 유닛과 일체로 결합되고 분리되는 분리 마스크 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 쉴드 모듈.
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