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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0001417 (2015-01-06) | |
| 공개번호 | 10-2016-0084755 (2016-07-14) | |
| 등록번호 | 10-2092251-0000 (2020-03-17) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150001417 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2018-05-28) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 증착시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 선형증발모듈에서 증착물질을 증발시켜 기판 표면에 박막을 증착하는 증착시스템에 관한 것이다.본 발명은, 직사각형 기판에 박막을 증착하기 위한 처리공간이 하나 이상으로 형성된 공정챔버와; 상기 공정챔버에서 기판의 폭 또는 길이방향을 따라서 선형이동되도록 설치되어 상기 처리공간 내에 위치된 기판에 박막을 증착하도록 증착물질을 증발시키는 선형증발모듈과; 상기 선형증발모듈의 길이방향의 양 끝단들 중 적어도 어느 한 끝단에 대응되는 위치에서 상기 선형증발모듈의 양 끝단 사이에 위치되도록
직사각형 기판에 박막을 증착하기 위한 처리공간이 하나 이상으로 형성된 공정챔버와;상기 공정챔버에서 기판의 폭 또는 길이방향을 따라서 선형이동되도록 설치되어 상기 처리공간 내에 위치된 기판에 박막을 증착하도록 증착물질을 증발시키는 선형증발모듈과;상기 처리공간 내에 위치된 상기 기판의 길이방향에 대하여 상기 처리공간 내 양 끝단들 중 적어도 어느 한 끝단에 대응되는 위치에서 상기 선형증발모듈의 양 끝단 사이에 위치되도록 설치되어 상기 선형증발모듈의 증발률을 측정하기 위한 하나 이상의 중간증발률센서를 포함하며,상기 중간증발률센서는, 상기
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