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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0009502 (2015-01-20) | |
| 공개번호 | 10-2016-0089952 (2016-07-29) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150009502 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-01-20) | |
| 심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은, 원통형의 스퍼터링 타깃(10), 스퍼터링 타깃(10)의 내부에 스퍼터링 타깃(10)의 길이방향으로 배치되며 자기장을 형성하는 마그넷(20), 마그넷(20)을 지지하는 마그넷 지지유닛(30)을 포함하고, 마그넷(20)은 스퍼터링 타깃(10)의 내주면과 간극(G)을 두고 대면하는 대향면(22)을 가지며 대향면(22)이 스퍼터링 타깃(10)의 내주에 대응되는 곡률을 갖도록 형성된 원통형 스퍼터링 캐소드를 제공한다.
중공을 갖는 원통형의 스퍼터링 타깃(10)과;상기 스퍼터링 타깃(10)의 내부에 스퍼터링 타깃(10)의 길이방향으로 배치되며 자기장을 형성하는 마그넷(20)과;상기 마그넷(20)을 지지하는 마그넷 지지유닛(30)을 포함하고,상기 마그넷(20)은 상기 스퍼터링 타깃(10)의 내주면과 간극(G)을 두고 대면하는 대향면(22)을 가지며 상기 대향면(22)이 상기 스퍼터링 타깃(10)의 내주에 대응되는 곡률을 갖도록 형성된,원통형 스퍼터링 캐소드.
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