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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0074201 (2015-05-27) | |
공개번호 | 10-2016-0139459 (2016-12-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150074201 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 정전척 및 정전척 제조방법에 관한 것으로, 알루미늄 몸체, 상기 알루미늄 몸체 상면에 코팅된 하부 절연층, 상기 하부 절연층 상부에 배치되고, 상측을 향하여 복수개의 돌출 형상의 패턴이 형성된 금속 전극층, 상기 금속 전극층 상부에 배치되고, 상기 금속 전극층의 상기 돌출 형상의 패턴과 대응하는 형상을 구비하는 알루미늄층 및 상기 알루미늄층을 아노다이징 처리하여 형성하고, 상기 알루미늄층의 상기 형상과 대응되는 형상을 가지는 패턴 절연층를 포함할 수 있다.본 발명에 따른 정전척 및 정전척 제조방법은 정전척 내부와 상측에
알루미늄 몸체;상기 알루미늄 몸체 상면에 코팅된 하부 절연층;상기 하부 절연층 상부에 배치되고, 상측을 향하여 복수개의 돌출 형상의 패턴이 형성된 금속 전극층;상기 금속 전극층 상부에 배치되고, 상기 금속 전극층의 상기 돌출 형상의 패턴과 대응하는 형상을 구비하는 알루미늄층; 및 상기 알루미늄층을 아노다이징 처리하여 형성하고, 상기 알루미늄층의 상기 형상과 대응되는 형상을 가지는 패턴 절연층를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
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