최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-0087811 (2015-06-19) | |
공개번호 | 10-2015-0082135 (2015-07-15) | |
등록번호 | 10-1942344-0000 (2019-01-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150087811 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2018-10-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 구리 및 몰리브덴 함유 막의 식각시 구리막의 두께가 두꺼운 경우에도 구리막에 대한 식각 속도화 몰리브덴 함유막의 식각 속도를 높게 유지하면서 배선 단락 불량을 방지할 수 있는 식각액 조성물에 관한 것으로, 상기 식각액 조성물은 산화제로서 과산화수소와 과황산염을 포함하는 구리 및 몰리브덴 함유 막의 식각액 조성물로서, 상기 과산화수소 100 중량부에 대하여 과황산염 0.5~2.5 중량부 함유하는 것을 특징으로 한다.
구리 및 몰리브덴 함유 막의 식각액 조성물로서,과산화수소 15 내지 30 중량%; 과황산암모늄 0.05 내지 3 중량%;5-아미노테트라졸 0.1 내지 3중량%;킬레이트제 0.1 내지 5중량%;황산수소나트륨 0.01 내지 2중량%;불소화합물 0.01 내지 2중량%; 그리고조성물 총 중량이 100 중량%가 되도록 하는 물을 포함하되,상기 과산화수소 100 중량부에 대하여 과황산암모늄을 1.8 내지 6 중량부 포함하고, 상기 킬레이트제는 이미노디아세트산(iminodiacetic acid), 니트릴로트리아세트산(nitrilotriaceti
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.