초록 ▼

본 발명은 테스트용 러버 소켓을 효율적인 비용으로 제작하고 반도체 패키지의 제조시 도전성 폴의 정렬을 정밀하고 간편하게 수행할 수 있는 기술로서, 기존의 상판 자석을 배제하고 하판 자석만 구비하여 테스트용 러버 소켓을 제작함으로써 장비제작 비용을 대폭 감축하도록 하고, 테스트용 러버 소켓에 구비되는 도전성 폴에서 액상 절연체에 대해 비투자율이 높은 제 1 도전성 파우더와 비투자율이 낮은 제 2 도전성 파우더를 상하부 구별되도록 함으로써 도전성 폴을 정렬시킬 때 도전성 폴의 하부에 위치하는 자석 블록에 의한 자기력으로 도전성 폴의 상

본 발명은 테스트용 러버 소켓을 효율적인 비용으로 제작하고 반도체 패키지의 제조시 도전성 폴의 정렬을 정밀하고 간편하게 수행할 수 있는 기술로서, 기존의 상판 자석을 배제하고 하판 자석만 구비하여 테스트용 러버 소켓을 제작함으로써 장비제작 비용을 대폭 감축하도록 하고, 테스트용 러버 소켓에 구비되는 도전성 폴에서 액상 절연체에 대해 비투자율이 높은 제 1 도전성 파우더와 비투자율이 낮은 제 2 도전성 파우더를 상하부 구별되도록 함으로써 도전성 폴을 정렬시킬 때 도전성 폴의 하부에 위치하는 자석 블록에 의한 자기력으로 도전성 폴의 상부가 휘는 현상을 방지할 수 있다.본 발명에 따르면, 기존 도전성 폴의 정렬을 위해 상하부에 위치하는 상판 자석과 하판 자석 중에서 상판 자석을 배제할 수 있고, 이로 인해 소켓 제조장비의 단가를 현저히 낮출 수 있는 장점이 있다.

대표청구항 ▼

피검사 디바이스인 반도체 패키지와 검사장치를 서로 전기적으로 연결하기 위한 반도체 테스트용 러버 소켓으로서,외력에 대해 소정 탄성을 갖고 전기적으로 절연되는 바 형태의 탄성 절연체(110)의 내측에 캘빈온도 300K에서 비투자율 10 이상의 제 1 도전성 파우더(121)가 삽입된 강자성형 하부 도전기둥부(101)와, 상기 탄성 절연체(110)의 내측에 캘빈온도 300K에서 비투자율 2 이하의 제 2 도전성 파우더(122)가 삽입된 저자성형 상부 도전기둥부(102)를 구비하는 도전성 폴(100);외력에 소정 탄성을 갖는 전기적인 절연

피검사 디바이스인 반도체 패키지와 검사장치를 서로 전기적으로 연결하기 위한 반도체 테스트용 러버 소켓으로서,외력에 대해 소정 탄성을 갖고 전기적으로 절연되는 바 형태의 탄성 절연체(110)의 내측에 캘빈온도 300K에서 비투자율 10 이상의 제 1 도전성 파우더(121)가 삽입된 강자성형 하부 도전기둥부(101)와, 상기 탄성 절연체(110)의 내측에 캘빈온도 300K에서 비투자율 2 이하의 제 2 도전성 파우더(122)가 삽입된 저자성형 상부 도전기둥부(102)를 구비하는 도전성 폴(100);외력에 소정 탄성을 갖는 전기적인 절연체로서 복수 개의 상기 도전성 폴이 끼워질 수 있도록 상하방향으로 관통하는 복수 개의 관통공이 형성되며, 상기 관통공의 내벽이 상기 도전성 폴의 외벽을 감싸는 형태로 상기 도전성 폴을 그립하도록 하는 절연 블록(200);상기 절연 블록의 하면에 부착되고 상기 관통공과 연통하는 개구공이 형성되어 상기 도전성 폴의 하면이 하방향으로 노출되게 상기 도전성 폴의 하부가 상기 개구공에 끼워지도록 하는 절연 시트(300);상기 절연 블록의 테두리에 대응하는 상기 절연 블록과 상기 절연 시트 사이에 끼워지고 상기 절연 블록의 외측벽으로 돌출되어 상기 검사장치와의 연결을 인터페이스하는 조인트 프레임(400);을 포함하여 구성되는 반도체 테스트용 러버 소켓.