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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0173940 (2016-12-19) | |
공개번호 | 10-2018-0071117 (2018-06-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160173940 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 변형 감지방법과 기판 이송유닛의 제어 방법에 관한 것으로, 기판 처리 장치는, 기판이 처리되는 처리유닛과, 처리유닛의 외측에 배치되며, 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송유닛과, 이송유닛에 대한 처리유닛의 상대 변위량을 감지하는 변위감지부와, 변위감지부에서 감지된 상대 변위량에 기초하여 처리유닛의 위치를 검출하는 위치검출부와, 위치검출부에서 검출된 처리유닛의 위치에 따라 이송로봇을 티칭(teaching)하는 티칭제어부를 포함하는 것에 의하여, 처리유닛의 위치 변화를 정확하게 감지
기판 처리 장치로서,기판이 처리되는 처리유닛과;상기 처리유닛의 외측에 배치되며, 상기 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송유닛과;상기 이송유닛에 대한 상기 처리유닛의 상대 변위량을 감지하는 변위감지부와;상기 변위감지부에서 감지된 상기 상대 변위량에 기초하여 상기 처리유닛의 위치를 검출하는 위치검출부와;상기 위치검출부에서 검출된 상기 처리유닛의 위치에 따라 상기 이송로봇을 티칭(teaching)하는 티칭제어부를;포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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