[특허]블랭크 마스크, 포토마스크 및 그의 제조 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-001/50 G03F-001/66 G03F-007/09
출원번호	10-2017-0061678 (2017-05-18)
공개번호	10-2018-0126810 (2018-11-28)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170061678
발명자 / 주소	남기수 / 대구광역시 달서구 호산동로 신철 / 대구광역시 달서구 호산동로 이종화 / 대구광역시 달서구 호산동로 양철규 / 대구광역시 달서구 호산동로 신승협 / 대구광역시 달서구 호산동로 전영조 / 대구광역시 달서구 호산동로 공길우 / 대구광역시 달서구 호산동로 **
출원인 / 주소	주식회사 에스앤에스텍 / 대구광역시 달서구 호산동로 ** (호림동)
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록 ▼

본 발명은 투명 기판 상에 차광성막 및 하드필름이 구비된 블랭크 마스크로서, 전이금속을 포함하지 않는 실리콘 타겟을 이용하여 차광성막을 형성하되, 상기 차광성막을 투과율 제어층인 차광막과 반사율 제어층인 반사방지막을 포함하는 다층막으로 구성함으로써, 파장 193㎚ 의 광에 대하여 광학 밀도가 2.50 이상, 반사율 40% 이하이며, 막 두께가 60㎚ 이하인 차광성막을 포함하는 블랭크 마스크 및 이를 이용하는 포토 마스크를 제공한다.본 발명에 따른 차광성막은 화학적 세정에 대한 내약품성과 ArF 노광광에 대한 내노광성이 우수하여, 특

대표청구항

투명 기판; 및 상기 투명 기판 상에 구비되며, 전이금속을 함유되지 않은 실리콘(Si)계 재료로 이루어지는 차광성막; 을 포함하는 블랭크 마스크.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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