[특허]포토레지스트 제거용 박리액 조성물

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-007/42 C11D-011/00 C11D-003/00 C11D-003/30 C11D-003/32 C11D-003/43 G03F-007/26
출원번호	10-2018-0020986 (2018-02-22)
공개번호	10-2018-0101183 (2018-09-12)
등록번호	10-2512488-0000 (2023-03-16)
우선권정보	대한민국(KR) 1020170027592 (2017-03-03)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180020986
발명자 / 주소	유진호 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로 *, 호 이동욱 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로 , 호 김정욱 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로 , 호 박준현 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로 , 호 김민희 / 경기도 용인시 기흥구 한보라로*번길 -, 라파엘로 호 이상대 / 경기도 화성시 동탄반석로 , -**(반송동, 솔빛마을경남아너스빌아파트)
출원인 / 주소	주식회사 이엔에프테크놀로지 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로번길 (공세동)
대리인 / 주소	특허법인 플러스
심사청구여부	있음 (2021-01-19)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 레지스트 박리액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인체에 유해한 독성 물질이 포함되어 있지 않으며, 박리된 레지스트의 용해력이 우수하여 필터 막힘 등의 공정상 문제를 최소화하며, 금속 배선의 부식을 최소화할 수 있는 포토레지스트 제거용 박리액 조성물에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

N-에틸포름아마이드; 하기 화학식 1로 표시되는 제 1 아민 화합물; 및 디프로필렌 글리콜 모노메틸에테르, 디프로필렌 글리콜 모노에틸에테르, 디프로필렌 글리콜 모노프로필에테르 및 디프로필렌 글리콜 모노부틸에테르에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물을 포함하는 제 1 극성용매;를 포함하는 포토레지스트 제거용 박리액 조성물로서,상기 N-에틸포름아마이드는 조성물 전체 함량 중 40 내지 90 중량%로 포함하며, 상기 제 1 아민 화합물은 1 내지 50 중량%, 상기 제 1 극성용매는 1 내지 40 중량%로 포함하는 것인, 포토레

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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