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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0024661 (2018-02-28) | |
공개번호 | 10-2019-0103795 (2019-09-05) | |
등록번호 | 10-2450476-0000 (2022-09-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180024661 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-01-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 정전척 히터 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게, 접지 전극 및 상기 접지 전극 외측으로 일정 거리 이격 되어 형성된 정전척 전극을 포함하는 정전척 히터에 관한 것으로서, 웨이퍼 가장자리 들뜸현상을 감소시킴으로써, 웨이퍼 등 대상체 가열면의 위치별 온도 편차가 현저히 줄어들어 가열면의 온도 균일성(TEMPERATURE UNIFORMITY)을 높일 수 있는 효과가 있다.
접지 전극(310) 및 상기 접지 전극(310) 외측으로 일정 거리 이격 되어 형성된 정전척 전극(320)을 포함하고, 상기 정전척 전극(320)이 형성된 평면과 다른 평면에서 상기 정전척 전극(320)을 연결하는 정전척 연결부재(325)를 더 포함하는, 정전척 히터.
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