[특허]극자외선 리소그래피용 펠리클 및 그의 제조방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-001/64 G03F-001/00 G03F-007/20
출원번호	10-2018-0028629 (2018-03-12)
공개번호	10-2018-0103775 (2018-09-19)
등록번호	10-2018530-0000 (2019-08-30)
우선권정보	대한민국(KR) 1020170030731 (2017-03-10);대한민국(KR) 1020170159821 (2017-11-28)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180028629
발명자 / 주소	남기수 / 대구광역시 달서구 호산동로 이창훈 / 대구광역시 달서구 호산동로 홍주희 / 대구광역시 달서구 호산동로 박철균 / 대구광역시 달서구 호산동로
출원인 / 주소	주식회사 에스앤에스텍 / 대구광역시 달서구 호산동로 ** (호림동)
대리인 / 주소	허성원; 이동욱; 서동헌
심사청구여부	있음 (2018-06-01)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

극자외선용 노광광에 대한 투과율과 기계적 강도가 우수한 극자외선 포토마스크용 펠리클 및 그 제조방법이 개시된다.펠리클은 지지층 패턴, 지지층 패턴의 상부에 형성되는 매립 산화층 패턴, 및 매립 산화층 패턴에 의해 지지되어 구비된 펠리클층을 구비한다.펠리클은 펠리클층의 기계적 강도를 보강하는 보강층, 보강층에 대해 기계적 강도를 추가적으로 보완하는 보조층, 펠리클층의 열을 방출하는 열방출층을 추가로 구비할 수 있다.

대표청구항

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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