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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0029595 (2018-03-14) | |
공개번호 | 10-2019-0108281 (2019-09-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180029595 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 금속막 형성용 전구체 조성물에 관한 것으로서, 하기 화학식 1로 표시되는 전구체를 포함하는 것을 특징으로 한다.[화학식 1]상기 화학식 1에서,M은 Ti, Zr, 또는 Hf이고,X는 수소원자, C1-C5의 알킬기, NR1R2 또는 OR3, 사이클로펜타디에닐(cyclopentadienyl, Cp), 아미디네이트(amidinate), β-디케토네이트(β-diketonate), 또는 케토이미네이트(keto-iminate)이며,R1 내지 R3는 각각 독립적으로 수소원자 또는 C1-C5의 알킬기이고,E는 각각 독립적으로 C, N,
하기 화학식 1로 표시되는 전구체를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속막 형성용 전구체 조성물.[화학식 1]상기 화학식 1에서,M은 Ti, Zr, 또는 Hf이고,X는 수소원자, C1-C5의 알킬기, NR1R2 또는 OR3, 사이클로펜타디에닐(cyclopentadienyl, Cp), 아미디네이트(amidinate), β-디케토네이트(β-diketonate), 또는 케토이미네이트(keto-iminate)이며,R1 내지 R3는 각각 독립적으로 수소원자 또는 C1-C5의 알킬기이고,E는 각각 독립적으로 C, N, Si, B 또는 P이고,Y는
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