초록 ▼

[과제] 단열 효과의 향상을 도모할 수 있는 증발원 및 증착 장치를 제공한다.[해결 수단] 도가니(330)와, 도가니(330)를 가열하는 제1 가열체(331)와, 제1 가열체(331)에 의해 도가니(330)가 가열됨으로써 증발 또는 승화된 재료를 확산하는 확산실(340)과, 확산실(340)을 가열하는 제2 가열체(341)를 가지는 증발원 유닛(제1 증발원 유닛(300X), 제2 증발원 유닛(300Y) 및 제3 증발원 유닛(300Z))을 일체적으로 복수 조 구비하는 증발원(300)으로서, 복수의 도가니(330)를 각각 수용하고, 또한

[과제] 단열 효과의 향상을 도모할 수 있는 증발원 및 증착 장치를 제공한다.[해결 수단] 도가니(330)와, 도가니(330)를 가열하는 제1 가열체(331)와, 제1 가열체(331)에 의해 도가니(330)가 가열됨으로써 증발 또는 승화된 재료를 확산하는 확산실(340)과, 확산실(340)을 가열하는 제2 가열체(341)를 가지는 증발원 유닛(제1 증발원 유닛(300X), 제2 증발원 유닛(300Y) 및 제3 증발원 유닛(300Z))을 일체적으로 복수 조 구비하는 증발원(300)으로서, 복수의 도가니(330)를 각각 수용하고, 또한 단열을 행하기 위한 복수의 제1 케이스부(310X, 310Y, 310Z)와, 복수의 확산실(340)을 각각 수용하고, 또한 단열을 행하기 위한 복수의 제2 케이스부(320X, 320Y, 320Z)를 구비함과 함께, 서로 이웃하는 제2 케이스부(320X, 320Y, 320Z)의 사이에는, 간극(S1, S2)이 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

기판에 증착시키는 물질의 재료를 수용하는 도가니와, 당해 도가니를 가열하는 제1 가열체와, 제1 가열체에 의해 도가니가 가열됨으로써 증발 또는 승화된 재료를 확산하는 확산실과, 당해 확산실을 가열하는 제2 가열체를, 각각이 갖는 복수의 증발원 유닛을 구비하는 증발원으로서, 복수의 상기 도가니를 각각 수용하고, 또한 단열을 행하기 위한 복수의 제1 케이스부와,복수의 상기 확산실을 각각 수용하고, 또한 단열을 행하기 위한 복수의 제2 케이스부를 구비함과 함께, 서로 이웃하는 제2 케이스부의 사이에는, 간극이 각각 형성되어 있고, 서로

기판에 증착시키는 물질의 재료를 수용하는 도가니와, 당해 도가니를 가열하는 제1 가열체와, 제1 가열체에 의해 도가니가 가열됨으로써 증발 또는 승화된 재료를 확산하는 확산실과, 당해 확산실을 가열하는 제2 가열체를, 각각이 갖는 복수의 증발원 유닛을 구비하는 증발원으로서, 복수의 상기 도가니를 각각 수용하고, 또한 단열을 행하기 위한 복수의 제1 케이스부와,복수의 상기 확산실을 각각 수용하고, 또한 단열을 행하기 위한 복수의 제2 케이스부를 구비함과 함께, 서로 이웃하는 제2 케이스부의 사이에는, 간극이 각각 형성되어 있고, 서로 이웃하는 제2 케이스부의 사이의 간극의 일부에, 제1 케이스부 내 및 제2 케이스부 내 중 적어도 어느 일방에 구비되는 부재에 전기적으로 접속되는 배선이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원.