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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0133748 (2018-11-02) | |
공개번호 | 10-2020-0050749 (2020-05-12) | |
등록번호 | 10-2253693-0000 (2021-05-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180133748 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-02) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
경사-회전 노광 헤드는 XY 스테이지에 결합되어 노광 타겟 위를 움직이며 노광한다. 경사-회전 노광 헤드는, 노광 타겟을 향해 빛을 조사하는 광원 유닛과, 광원 유닛에 결합되며 기준면과 나란한 제1 회전축을 포함하는 틸트각 조절부와, 틸트각 조절부에 결합되며 기준면과 나란하고 제1 회전축과 직교하는 선형 레일을 포함하는 선형 이동부와, 선형 이동부에 결합되며 제1 회전축 및 선형 레일과 직교하는 제2 회전축을 포함하는 회전각 조절부를 포함한다.
XY 스테이지에 의해 노광 타겟 상에 위치하며, 노광 타겟을 향해 빛을 조사하는 광원 유닛; 상기 광원 유닛에 결합되며, 상기 노광 타겟의 상면과 나란한 제1 회전축을 포함하는 틸트각 조절부; 상기 틸트각 조절부에 결합되며, 상기 노광 타겟의 상면과 나란하고 상기 제1 회전축과 직교하는 선형 레일을 포함하는 선형 이동부; 및상기 선형 이동부에 결합되며 상기 제1 회전축 및 상기 선형 레일과 직교하는 제2 회전축을 포함하는 회전각 조절부를 포함하고,상기 광원 유닛은 상기 제1 회전축의 회전에 의해 틸트각이 조절되며, 상기 선형 레일을
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