초록 ▼

본 발명은 잉곳의 제조장치 및 이를 이용한 탄화규소 잉곳의 제조방법에 대한 것으로, 개방부를 가지며 원료가 수용되는 도가니 본체; 그리고 상기 개방부에 위치하여 상기 도가니 본체에 적어도 그 일부가 고정되는 뚜껑 조립체;를 포함하는 잉곳의 제조장치로, 상기 뚜껑 조립체는, 상하 관통된 배치홀; 상기 배치홀의 둘레를 감싸며 상기 개방부의 둘레를 따라 배치되는 테두리 부재; 및 상기 배치홀에 위치하며 상기 테두리 부재를 기준으로 상하로 이동되는 코어부재;를 포함하는 잉곳의 제조장치를 적용하여 보다 대구경의 고품질 단결정 잉곳을 제공할

본 발명은 잉곳의 제조장치 및 이를 이용한 탄화규소 잉곳의 제조방법에 대한 것으로, 개방부를 가지며 원료가 수용되는 도가니 본체; 그리고 상기 개방부에 위치하여 상기 도가니 본체에 적어도 그 일부가 고정되는 뚜껑 조립체;를 포함하는 잉곳의 제조장치로, 상기 뚜껑 조립체는, 상하 관통된 배치홀; 상기 배치홀의 둘레를 감싸며 상기 개방부의 둘레를 따라 배치되는 테두리 부재; 및 상기 배치홀에 위치하며 상기 테두리 부재를 기준으로 상하로 이동되는 코어부재;를 포함하는 잉곳의 제조장치를 적용하여 보다 대구경의 고품질 단결정 잉곳을 제공할 수 있다.

대표청구항 ▼

개방부를 가지며 원료가 수용되는 도가니 본체; 그리고 상기 개방부에 위치하여 상기 도가니 본체에 적어도 그 일부가 고정되는 뚜껑 조립체;를 포함하는 잉곳의 제조장치로, 상기 뚜껑 조립체는, 상하 관통된 배치홀; 상기 배치홀의 둘레를 감싸며 상기 개방부의 둘레를 따라 배치되는 테두리 부재; 및 상기 배치홀에 위치하며 상기 테두리 부재를 기준으로 상하로 이동되는 코어부재;를 포함하고,상기 잉곳의 제조장치는 상기 도가니 본체의 상단부 또는 상기 도가니 본체와 상기 뚜껑 조립체 사이에 위치하며 종자정을 포함하는 종자정 고정부를 포함하고,

개방부를 가지며 원료가 수용되는 도가니 본체; 그리고 상기 개방부에 위치하여 상기 도가니 본체에 적어도 그 일부가 고정되는 뚜껑 조립체;를 포함하는 잉곳의 제조장치로, 상기 뚜껑 조립체는, 상하 관통된 배치홀; 상기 배치홀의 둘레를 감싸며 상기 개방부의 둘레를 따라 배치되는 테두리 부재; 및 상기 배치홀에 위치하며 상기 테두리 부재를 기준으로 상하로 이동되는 코어부재;를 포함하고,상기 잉곳의 제조장치는 상기 도가니 본체의 상단부 또는 상기 도가니 본체와 상기 뚜껑 조립체 사이에 위치하며 종자정을 포함하는 종자정 고정부를 포함하고, 상기 종자정 고정부와 상기 코어부재는 적어도 한 점 이상에서 서로 접하고,상기 코어부재는, 상기 도가니 본체 또는 그 내부의 온도 상승에 따라 종자정 고정부에 발생하는 휘어짐 현상이 유발하는 압축응력을 상기 코어부재의 상하 이동에 의하여 해소 또는 완화하는, 잉곳의 제조장치.