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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-7006461 (2018-03-06) | |
공개번호 | 10-2019-0028355 (2019-03-18) | |
등록번호 | 10-2303971-0000 (2021-09-14) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2016-141329 (2016-07-19) | |
국제출원번호 | PCT/JP2017/025267 (2017-07-11) | |
국제공개번호 | WO 2018/016384 (2018-01-25) | |
번역문제출일자 | 2018-03-06 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020187006461 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-02-10) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
정전척 히터는, 정전척과, 소형 히터 전극이 배선된 소형 존을 복수개 갖는 소형 존 형성 영역과, 복수의 소형 히터 전극이 병렬 접속된 전원과, 각 소형 히터 전극에 대응한 공급 가능한 출력에 대한 출력 비율을 이용하여 원하는 전력이 각 소형 히터 전극에 공급되도록 제어하는 소형 존 제어 장치를 구비하고 있다. 복수의 소형 히터 전극 중 쿨스팟을 포함하는 소형 존에 배선된 소형 히터 전극의 저항치는, 다른 소형 히터 전극에 비교해서 낮게 설정되어 있다.
정전척 히터에 있어서,세라믹스 소결체에 정전 전극이 매설된 정전척과,상기 세라믹스 소결체의 내부 또는 상기 세라믹스 소결체에 일체화된 히터 유지체의 내부에 설치되고, 소형 히터 전극이 배선된 소형 존을 복수개 갖는 소형 존 형성 영역과,복수의 상기 소형 히터 전극이 병렬 접속된 전원과,각 소형 히터 전극에 대응한 공급 가능한 출력에 대한 출력 비율을 이용하여 원하는 전력이 각 소형 히터 전극에 공급되도록 제어하는 소형 존 제어 장치를 포함하고,복수의 상기 소형 히터 전극 중 쿨스팟을 포함하는 소형 존에 배선된 소형 히터 전극의 저항
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