초록 ▼

본 발명은, 정전척에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 정전척은 베이스 바디와, 제1 접착층에 의해, 상기 베이스 바디의 상면에 접합하는 히터 플레이트와, 제2 접착층에 의해, 상기 히터 플레이트의 상면에 접합하고, 정전기력에 의해 웨이퍼를 흡착하는 흡착 플레이트와, 상기 베이스 바디 및 히터 플레이트를 관통하여 상기 흡착 플레이트에 접촉하는 전극과, 상기 전극을 감싸는 제1 절연부재 및 제2 절연부재를 포함하되, 상기 전극은, 상기 제1 절연부재의 상부면에서 상측으로 노출되는 노출부를 구비하고, 상기 노출부는, 상기 제2 절

본 발명은, 정전척에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 정전척은 베이스 바디와, 제1 접착층에 의해, 상기 베이스 바디의 상면에 접합하는 히터 플레이트와, 제2 접착층에 의해, 상기 히터 플레이트의 상면에 접합하고, 정전기력에 의해 웨이퍼를 흡착하는 흡착 플레이트와, 상기 베이스 바디 및 히터 플레이트를 관통하여 상기 흡착 플레이트에 접촉하는 전극과, 상기 전극을 감싸는 제1 절연부재 및 제2 절연부재를 포함하되, 상기 전극은, 상기 제1 절연부재의 상부면에서 상측으로 노출되는 노출부를 구비하고, 상기 노출부는, 상기 제2 절연부재에 의해 감싸지는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 정전척의 전기적 안정성을 향상시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

베이스 바디;제1 접착층에 의해, 상기 베이스 바디의 상면에 접합하는 히터 플레이트;제2 접착층에 의해, 상기 히터 플레이트의 상면에 접합하고, 정전기력에 의해 웨이퍼를 흡착하는 흡착 플레이트;상기 베이스 바디 및 히터 플레이트를 관통하여 상기 흡착 플레이트에 접촉하는 전극; 및상기 전극을 감싸는 제1 절연부재 및 제2 절연부재를 포함하되,상기 전극은,상기 제1 절연부재의 상부면에서 상측으로 노출되는 노출부를 구비하고,상기 노출부는,상기 제2 절연부재에 의해 감싸지고,상기 제1 절연부재는,안착홈이 마련되고,상기 제2 절연부재는,원통

베이스 바디;제1 접착층에 의해, 상기 베이스 바디의 상면에 접합하는 히터 플레이트;제2 접착층에 의해, 상기 히터 플레이트의 상면에 접합하고, 정전기력에 의해 웨이퍼를 흡착하는 흡착 플레이트;상기 베이스 바디 및 히터 플레이트를 관통하여 상기 흡착 플레이트에 접촉하는 전극; 및상기 전극을 감싸는 제1 절연부재 및 제2 절연부재를 포함하되,상기 전극은,상기 제1 절연부재의 상부면에서 상측으로 노출되는 노출부를 구비하고,상기 노출부는,상기 제2 절연부재에 의해 감싸지고,상기 제1 절연부재는,안착홈이 마련되고,상기 제2 절연부재는,원통형상으로 형성되며, 상기 노출부에 끼워 맞춤되어, 상기 안착홈에 안착되고,일 단부가 상기 흡착 플레이트와 맞닿도록 형성되고,타 단부가 상기 안착홈에 맞닿도록 형성되고,상기 제2 절연부재의 높이는 상기 노출부의 높이와 동일하게 설정되어, 상기 전극의 단부는 상기 제2 절연부재의 외부로 노출되지 않으며,상기 제2 절연부재의 절연성은 상기 제1 절연부재의 절연성 보다 2배 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전척.