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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0117142 (2019-09-24) | |
공개번호 | 10-2021-0035403 (2021-04-01) | |
등록번호 | 10-2292507-0000 (2021-08-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190117142 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-09-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
듀오 플라즈마트론 이온원에 적용되는 펄스 전원 공급 장치 및 방법을 개시한다.본 발명의 일 측면에 의하면, 듀오 플라즈마트론 이온원에 적용되는 펄스 전원 공급 장치에 있어서, 상기 듀오 플라즈마트론을 생성하기 위한 직류전류를 공급하는 직류전원; 상기 직류전원과 병렬 연결되고, 상기 직류전원으로부터 상기 직류전류를 공급받아 전압을 충전하는 커패시터; 일단이 상기 커패시터에 연결되는 적어도 하나의 스위치를 포함하며, 상기 듀오 플라즈마트론의 생성 전에 턴 온되는 스위치부; 및 캐소드는 상기 스위치부에 연결되고, 애노드는 접지되며, 상기
듀오 플라즈마트론 이온원(duo plasmatron ion source)에 적용되는 펄스(pulse) 전원 공급 장치에 있어서,상기 듀오 플라즈마트론을 생성하기 위한 직류전류를 공급하는 직류전원;상기 직류전원과 병렬 연결되고, 상기 직류전원으로부터 상기 직류전류를 공급받아 전압을 충전하는 커패시터;일단이 상기 커패시터에 연결되는 적어도 하나의 스위치를 포함하며, 상기 듀오 플라즈마트론의 생성 전에 턴 온(turn on)되는 스위치부; 캐소드(cathode)는 상기 스위치부에 연결되고, 애노드(anode)는 접지되며, 상기 스위치부가
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