초록

개시되는 정전척이 베이스 부재와, 절연 코팅층과, 전극 패턴층과, 상부 유전층을 포함하고, 상기 상부 유전층은 정전력 및 가공성이 우수한 폴리우레탄, 실리콘, 에폭시 중 적어도 하나로 이루어짐에 따라, 상기 정전척의 상면이 공차없이 요구되는 곡면으로 성형될 수 있게 되어, 엣지 형태의 스마트폰의 디스플레이용 글래스 등의 피흡착체에 대응되는 형태로 정확하게 성형될 수 있고, 상기 상부 유전층의 두께 조절 등에 의해 정전력을 요구되는 수준으로 조절하여 상기 정전척을 제조할 수 있게 되는 장점이 있다.

대표청구항 ▼

피흡착체를 정전력에 의해 고정시켜주는 것으로서,베이스 부재;상기 베이스 부재 상에 절연을 위해 코팅되는 절연 코팅층;상기 절연 코팅층 상에 요구되는 전극 패턴으로 형성되는 전극 패턴층; 및상기 전극 패턴층 상에 형성되는 유전체인 상부 유전층;을 포함하고,상기 상부 유전층은 폴리우레탄, 실리콘, 에폭시 중 적어도 하나로 이루어지고,상기 상부 유전층을 이루는 물질은상기 상부 유전층 100중량부에 대해, 사이클로실라잔, 메틸 하이드로진, 메틸 비닐(cyclosilazanes, methyl hydrogen, methyl vinyl) 20

피흡착체를 정전력에 의해 고정시켜주는 것으로서,베이스 부재;상기 베이스 부재 상에 절연을 위해 코팅되는 절연 코팅층;상기 절연 코팅층 상에 요구되는 전극 패턴으로 형성되는 전극 패턴층; 및상기 전극 패턴층 상에 형성되는 유전체인 상부 유전층;을 포함하고,상기 상부 유전층은 폴리우레탄, 실리콘, 에폭시 중 적어도 하나로 이루어지고,상기 상부 유전층을 이루는 물질은상기 상부 유전층 100중량부에 대해, 사이클로실라잔, 메틸 하이드로진, 메틸 비닐(cyclosilazanes, methyl hydrogen, methyl vinyl) 20 내지 45중량부와, 터트-부틸 아세테이트(tert-butyl acetate) 55 내지 80 중량부를 포함하고,경도 Shore A type이 90 내지 99이고, 100% modulus가 140 내지 160 Kgf/cm2이고, 300% modulus가 380 내지 430 Kgf/cm2이고, 인장 강도가 500 내지 550 Kgf/cm2이고, 인열 강도가 170 내지 190 Kgf/cm2이고, 신장율이 350 내지 400 %이고, 반발탄성이 42 내지 43 %인 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 정전척.