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내스크래치성이 향상된 정전척 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
출원번호 10-2019-0088994 (2019-07-23)
공개번호 10-2020-0093409 (2020-08-05)
등록번호 10-2292502-0000 (2021-08-17)
우선권정보 대한민국(KR) 1020190010633 (2019-01-28)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190088994
발명자 / 주소
  • 김순훈 / 경기도 화성시 동탄지성로 ***, ***동 ***호 (기산동, 행복마을 참누리 에듀파크)
출원인 / 주소
  • 김순훈 / 경기도 화성시 동탄지성로 ***, ***동 ***호 (기산동, 행복마을 참누리 에듀파크)
대리인 / 주소
  • 이오식
심사청구여부 있음 (2019-07-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

개시되는 내스크래치성이 향상된 정전척의 표면이 나노실리콘 바인더에 의해 코팅됨으로써, 상기 내스크래치성이 향상된 정전척의 정전력이 유지되면서도, 상기 내스크래치성이 향상된 정전척의 스크래치에 대한 내구성이 향상될 수 있게 되는 장점이 있다.

대표청구항

피흡착체를 정전력에 의해 고정시켜주는 내스크래치성이 향상된 정전척으로서,상기 내스크래치성이 향상된 정전척의 표면이 나노실리콘 바인더에 의해 코팅되고,상기 나노실리콘 바인더에 대한 용제로, 에탄올, 이소프로필알코올(isopropyl alcohol, IPA), 메틸에틸케톤(methyl ethyl ketone, MEK) 중 적어도 하나가 채택되는 것을 특징으로 하는 내스크래치성이 향상된 정전척.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 정전척 부재 및 그 제조방법 | 하라다요시오, 다께우찌준이찌, 도고에겐이찌로
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  2. [한국] 전기 전도성 코팅을 갖는 기판 및 전기 전도성 코팅을 갖는는 기판의 제조 방법 | 가브리엘 안넬리
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