초록 ▼

본 발명은 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템 으로써,종래 반도체 가공에 사용하기 위하여 세계 각국에서 생산되어 반입되는 불화수소는 농도와 순도가 각기 편차가 있어 사용불가 하다본 발명은 상기와 같이 문제성이 있는 불화수소를 복잡한 정재시설에서 탈피하여 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템을 도출시켜 고순도 불화수소를 생산하는 시스템 인 것이다본 발명은고령토를 정제 한 미네랄 및

본 발명은 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템 으로써,종래 반도체 가공에 사용하기 위하여 세계 각국에서 생산되어 반입되는 불화수소는 농도와 순도가 각기 편차가 있어 사용불가 하다본 발명은 상기와 같이 문제성이 있는 불화수소를 복잡한 정재시설에서 탈피하여 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템을 도출시켜 고순도 불화수소를 생산하는 시스템 인 것이다본 발명은고령토를 정제 한 미네랄 및 카오린 산화철 분말을 혼재하여 식용유부피 대비30% 이하를 혼재한 불순물 흡착유(4)를 제조하여 시스템의 배관(3 )을 경유시켜 정제 용기(2 )내에 200mm 이상 두께 층으로 충전하고,정제 용기(2 )에 충전된 불순물 흡착유( 4)의 상부층에서 액상 불화수소(1)를 주입하고 주입된 액상 불화수소(1)를 비중에 의하여 불순물 흡착유( 4) 속으로 침강시켜 불순물 흡착유( 4)를 통과하면서 액상 불화수소(1)에 내포된 미량의 불순물을불순물 흡착유( 4)의 점성과 물질이 서로 이동하는 성질을 이용하여 흡착하여 포집하고 제거 한뒤 정제된 액상 불화수소(1)는 비중차에 의하여 불순물 흡착유( 4)의 하부쪽으로 하강시켜 배관을 통하여 회수하여 산업에 이용하는 것을 특징으로 하는액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템 인 것이다[색인어]본 발명은 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템,고령토를 정재 한 미네랄 및 카오린 산화철 분말을 혼재하여 식용유부피 대비30% 이하를 혼재한 불순물 흡착유(4),정제 용기(2 )내에 200mm 이상 두께 층으로 충전,액상 불화수소(1)를 비중에 의하여 불순물 흡착유( 4)속으로 침강,불순물 흡착유( 4)의 점성과 물질이 서로 이동하는 성질을 이용하여 흡착,액상 불화수소(1)는 비중차에 의하여 불순물 흡착유( 4)의 하부쪽으로 하강시켜 배관을 통하여 회수하여 산업에 이용,불순물 흡착유( 4)는 식물성, 동물성,광물성,불용성을 혼재하거나 화확물질이 첨가 될 수 있다,

대표청구항 ▼

본 발명은 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템 으로써,고령토를 정재 한 미네랄 및 카오린 산화철 분말을 혼재하여 식용유부피 대비30% 이하를 혼재한 불순물 흡착유(4)를 제조하여 시스템의 배관(3 )을 경유시켜 정제 용기(2 )내에 200mm 이상 두께 층으로 충전하고,정제 용기(2 )에 충전된 불순물 흡착유( 4)의 상부층에서 액상 불화수소(1)를 주입하고 주입된 액상 불화수소(1)를 비중에 의하여 불순물 흡착유( 4) 속으로 침강시켜 불순물 흡착유(

본 발명은 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템 으로써,고령토를 정재 한 미네랄 및 카오린 산화철 분말을 혼재하여 식용유부피 대비30% 이하를 혼재한 불순물 흡착유(4)를 제조하여 시스템의 배관(3 )을 경유시켜 정제 용기(2 )내에 200mm 이상 두께 층으로 충전하고,정제 용기(2 )에 충전된 불순물 흡착유( 4)의 상부층에서 액상 불화수소(1)를 주입하고 주입된 액상 불화수소(1)를 비중에 의하여 불순물 흡착유( 4) 속으로 침강시켜 불순물 흡착유( 4)를 통과하면서 액상 불화수소(1)에 내포된 미량의 불순물을불순물 흡착유( 4)의 점성과 물질이 서로 이동하는 성질을 이용하여 흡착하여 포집하고 제거 한뒤 정제된 액상 불화수소(1)는 비중차에 의하여 불순물 흡착유( 4)의 하부쪽으로 하강시켜 배관을 통하여 회수하여 산업에 이용하는 것을 특징으로 하는액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템,