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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0117683 (2019-09-24) | |
공개번호 | 10-2020-0049511 (2020-05-08) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-203749 (2018-10-30);일본(JP) JP-P-2019-166033 (2019-09-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190117683 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
(과제) 다공질부가 설치된 정전척에 있어서, 아크 방전의 발생을 더욱 억제할 수 있는 정전척을 제공하는 것을 목적으로 한다.(해결 수단) 흡착 대상물을 적재하는 제 1 주면과 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면을 갖는 세라믹 유전체 기판과, 상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트와 상기 세라믹 유전체 기판의 상기 제 1 주면 사이이고, 상기 가스 도입로와 대향하는 위치에 설치된 제 1 다공질부를 구비하고, 상기 세라믹 유전체 기판은 상기 제 1 주면과 상기 제 1 다공
흡착 대상물을 적재하는 제 1 주면과 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면을 갖는 세라믹 유전체 기판과,상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와,상기 베이스 플레이트와 상기 세라믹 유전체 기판의 상기 제 1 주면 사이이고, 상기 가스 도입로와 대향하는 위치에 설치된 제 1 다공질부를 구비하고,상기 세라믹 유전체 기판은 상기 제 1 주면과 상기 제 1 다공질부 사이에 위치하는 제 1 구멍부를 갖고,상기 제 1 다공질부는,복수의 구멍을 갖는 다공부와,상기 다공부보다 치밀한 제 1 치밀부를 갖고,상기
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