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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0150960 (2019-11-22) | |
공개번호 | 10-2021-0063499 (2021-06-02) | |
등록번호 | 10-2286522-0000 (2021-07-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190150960 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-11-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 냉각 가스를 감압하며 균일한 압력으로 배출시켜 플라즈마 공정 중에 냉각 가스의 주입 경로에 의한 아크 발생을 억제하되, 아크 발생을 방지할 다양한 방법이 복합적으로 실현되어 아크 발생을 더욱 확실하게 방지하는 정전 척에 관한 것으로서, 상기 토출구(13) 방향의 구간을 상기 가스 유로(30) 방향의 구간보다 확장한 복수 관통홀(120)을 구비한 아크 방지 부재(100)를 세라믹 플레이트(10)의 토출구(13)에 이어지는 가스 유로(30)의 끝단에 설치하여, 다단 꺾인 유로를 형성함으로써, 아크 발생을 방지하기 위한 복합적
전극(11)이 매립되어 있고, 토출구(13)를 조성한 워크 적재면(12)을 갖는 세라믹 플레이트(10); 끝단을 상기 토출구(13)에 이어지게 한 가스 유로(30); 및 상기 가스 유로(30)의 끝단에 삽입하며, 상기 가스 유로(30) 및 상기 토출구(13)에 의한 가스 진행 방향과 어긋난 위치에 구비하며 상기 가스 유로(30)보다 상대적으로 작은 내경을 갖게 한 복수 관통홀(120)을 통해 가스를 통과시켜 꺾인 유로를 형성하되, 각각의 관통홀(120)은 상기 토출구(13) 방향의 구간 내경을 상기 가스 유로(30) 방향의 구간 내
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