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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0057932 (2020-05-14) | |
공개번호 | 10-2021-0140982 (2021-11-23) | |
등록번호 | 10-2355535-0000 (2022-01-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200057932 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-05-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 세라믹 플레이트 기재; 상기 세라믹 플레이트 기재의 내부 또는 상부면에 위치하는 열선층; 전원공급라인; 및 상기 열선층에 위치하며, 열선과 전원공급라인을 연결하는 브릿지;를 포함하며, 상기 브릿지는 열선과 전원공급라인 사이의 최단 거리를 기준으로 1.2 내지 5배의 길이를 갖는 브릿지 소재를 굴곡시켜 열선과 전원공급라인을 연결시킨 것을 특징으로 하는 플레이트 타입 가열장치 및 이를 포하하는 기상 증착 장치를 제공한다.
세라믹 플레이트 기재;상기 세라믹 플레이트 기재의 내부 또는 상부면에 위치하는 열선층;전원공급라인; 및상기 열선과 전원공급라인을 연결하는 브릿지;를 포함하며,상기 브릿지는 열선과 전원공급라인 사이의 최단 거리를 기준으로 1.2배 내지 5배의 길이를 갖는 브릿지 소재를 굴곡시켜 열선과 전원공급라인을 연결시키며,상기 브릿지는 상기 열선층에 위치하고 완곡하게 굴곡시킨 골과 산이 교대로 배열된 파형으로 형성되며,상기 브릿지의 단면적은 상기 열선의 단면적 대비 2배 내지 10배인 것을 특징으로 하는 플레이트 타입 가열장치.
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