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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0174637 (2019-12-26) | |
공개번호 | 10-2020-0083278 (2020-07-08) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-248274 (2018-12-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190174637 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
[과제] 정전척의 정전 용량을 측정하는 새로운 수법을 제공한다.[해결 수단] 그라운드에 접속되는 기판을 접촉시킨 정전척 내의 전극에 단자를 접촉시키는 공정과, 상기 단자, 상기 정전척 및 상기 기판을 고정하는 공정과, 상기 단자에 접속된 전류계및 전압계에 의해 전류치 및 전압치를 측정하는 공정과, 측정한 상기 전류치 및 상기 전압치에 근거하여, 상기 전류치의 기울기 및/또는 상기 전류치의 피크시의 값으로부터 상기 단자와 상기 전극의 도통을 판정하는 공정을 가지는 측정 방법이 제공된다.
그라운드에 접속되는 기판을 접촉시킨 정전척 내의 전극에 단자를 접촉시키는 공정과,상기 단자, 상기 정전척 및 상기 기판을 고정하는 공정과,상기 단자에 접속된 전류계 및 전압계에 의해 전류치 및 전압치를 측정하는 공정과, 측정한 상기 전류치 및 상기 전압치에 근거하여, 상기 전류치의 기울기 및/또는 상기 전류치의 피크시의 값으로부터 상기 단자와 상기 전극의 도통을 판정하는 공정을 가지는 측정 방법.
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