최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2019-7007682 (2019-03-15) | |
공개번호 | 10-2019-0036566 (2019-04-04) | |
등록번호 | 10-2390323-0000 (2022-04-20) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/380,151 (2016-08-26) | |
국제출원번호 | PCT/US2017/048170 (2017-08-23) | |
국제공개번호 | WO 2018/039315 (2018-03-01) | |
번역문제출일자 | 2019-03-15 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197007682 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2020-07-02) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 개시내용의 실시예들은 개선된 유동 컨덕턴스 및 균일성을 갖는 플라즈마 프로세싱 챔버에서 사용되는 플라즈마 스크린에 관한 것이다.일 실시예는 플라즈마 스크린을 제공한다.플라즈마 스크린은, 중앙 개구 및 외측 직경을 갖는 원형 플레이트를 포함한다.복수의 컷아웃들이 원형 플레이트를 관통하여 형성된다.복수의 컷아웃들은 2개 이상의 동심 원들로 배열된다.각각의 동심 원은 동일한 개수의 컷아웃들을 포함한다.
플라즈마 스크린으로서,중앙 개구 및 외측 직경을 갖는 원형 플레이트; 및프로세스 가스가 유동할 수 있도록 상기 원형 플레이트를 관통하여 형성된 복수의 컷아웃(cut out)들를 포함하고,상기 원형 플레이트를 통하는 유동 면적은 상기 프로세스 가스의 유동 경로에서 가장 좁은 면적과 동일하거나 그보다 크며, 상기 복수의 컷아웃들은 동일한 형상 및 동일한 크기를 갖는 세장형 슬롯들이고, 상기 복수의 컷아웃들은 2개 이상의 동심 원들로 배열되며, 각각의 동심 원 내의 상기 복수의 컷아웃들의 총 컷아웃 면적들은 실질적으로 동일한,플라즈마 스
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.