초록 ▼

제1 비저항 값 및 제1 비저항 값을 갖는 전도성 층의 두께를 인-시튜 모니터링 시스템으로부터의 신호에 관련시키는 상관 함수가 저장된다.기판 상의 전도성 층에 대한 제2 비저항 값이 수신된다.연마 동안 기판을 모니터링하는 인-시튜 전자기 유도 모니터링 시스템으로부터, 전도성 층의 두께에 따른 일련의 신호 값들이 수신된다.일련의 신호 값들 및 상관 함수에 기초하여 일련의 두께 값들이 생성된다.일련의 두께 값들 중 적어도 일부 두께 값들에 대해, 일련의 조정된 두께 값들을 생성하기 위해 제1 비저항 값과 제2 비저항 값 사이의 변동을

제1 비저항 값 및 제1 비저항 값을 갖는 전도성 층의 두께를 인-시튜 모니터링 시스템으로부터의 신호에 관련시키는 상관 함수가 저장된다.기판 상의 전도성 층에 대한 제2 비저항 값이 수신된다.연마 동안 기판을 모니터링하는 인-시튜 전자기 유도 모니터링 시스템으로부터, 전도성 층의 두께에 따른 일련의 신호 값들이 수신된다.일련의 신호 값들 및 상관 함수에 기초하여 일련의 두께 값들이 생성된다.일련의 두께 값들 중 적어도 일부 두께 값들에 대해, 일련의 조정된 두께 값들을 생성하기 위해 제1 비저항 값과 제2 비저항 값 사이의 변동을 보상하는 조정된 두께 값들이 생성된다.일련의 조정된 두께 값들에 기초하여 연마 파라미터에 대한 조정이 결정되거나 연마 종료점이 검출된다.

대표청구항 ▼

비일시적 컴퓨터 판독가능 매체 상에 유형적으로 인코딩된 컴퓨터 프로그램 제품으로서,컴퓨터 시스템으로 하여금:제1 비저항 값 및 한 온도에서(at a temperature) 상기 제1 비저항 값을 갖는 전도성 물질의 층 두께를 인-시튜 전자기 유도 모니터링 시스템으로부터의 신호에 관련시키는 상관 함수를 저장하고 - 상기 제1 비저항 값은 교정 기판의 측정 또는 교과서 값으로부터 생성됨 -;연마될 장치 기판 상의 증착된 전도성 층의 측정에 의해 생성된 상기 온도에서의 상기 전도성 물질의 상기 증착된 전도성 층에 대한 제2 비저항 값을

비일시적 컴퓨터 판독가능 매체 상에 유형적으로 인코딩된 컴퓨터 프로그램 제품으로서,컴퓨터 시스템으로 하여금:제1 비저항 값 및 한 온도에서(at a temperature) 상기 제1 비저항 값을 갖는 전도성 물질의 층 두께를 인-시튜 전자기 유도 모니터링 시스템으로부터의 신호에 관련시키는 상관 함수를 저장하고 - 상기 제1 비저항 값은 교정 기판의 측정 또는 교과서 값으로부터 생성됨 -;연마될 장치 기판 상의 증착된 전도성 층의 측정에 의해 생성된 상기 온도에서의 상기 전도성 물질의 상기 증착된 전도성 층에 대한 제2 비저항 값을 수신하고;연마 동안 상기 장치 기판을 모니터링하는 상기 인-시튜 전자기 유도 모니터링 시스템으로부터, 상기 증착된 전도성 층의 두께에 따른 일련의 신호 값들을 수신하고;상기 일련의 신호 값들 및 상기 상관 함수에 기초하여 일련의 두께 값들을 생성하고;상기 일련의 두께 값들 중 적어도 일부 두께 값들에 대해, 일련의 조정된 두께 값들을 생성하기 위해 상기 온도에서의 상기 전도성 물질에 대한 상기 제1 비저항 값과 상기 제2 비저항 값 사이의 변동을 보상하는 조정된 두께 값들을 생성하고;상기 일련의 조정된 두께 값들에 기초하여 연마 파라미터에 대한 조정을 결정하는 것 또는 연마 종료점을 검출하는 것 중 적어도 하나를 하게 하는 명령어들을 포함하는, 컴퓨터 프로그램 제품.