[특허]플라즈마 프로세싱 챔버를 위한 플라즈마 스크린

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01J-037/32
출원번호	10-2019-7007682 (2019-03-15)
공개번호	10-2019-0036566 (2019-04-04)
등록번호	10-2390323-0000 (2022-04-20)
우선권정보	미국(US) 62/380,151 (2016-08-26)
국제출원번호	PCT/US2017/048170 (2017-08-23)
국제공개번호	WO 2018/039315 (2018-03-01)
번역문제출일자	2019-03-15
DOI	http://doi.org/10.8080/1020197007682
발명자 / 주소	니콜스, 마이클 토마스 / 미국 *** 캘리포니아 써니베일 로렌스 스테이션 로드 #* 유시프, 이마드 / 미국 *** 캘리포니아 새너제이 웬도버 레인 오'말리, 존 앤서니, 3세 / 미국 * 캘리포니아 새너제이 리 애비뉴 * #* 딘드사, 라진더 / 미국 *** 캘리포니아 플레젠턴 이스트 게이트웨이 바바얀, 스티븐 이. / 미국 * 캘리포니아 로스 알토스 몽클레어 웨이 **
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	특허법인 남앤남
심사청구여부	있음 (2020-07-02)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 개시내용의 실시예들은 개선된 유동 컨덕턴스 및 균일성을 갖는 플라즈마 프로세싱 챔버에서 사용되는 플라즈마 스크린에 관한 것이다.일 실시예는 플라즈마 스크린을 제공한다.플라즈마 스크린은, 중앙 개구 및 외측 직경을 갖는 원형 플레이트를 포함한다.복수의 컷아웃들이 원형 플레이트를 관통하여 형성된다.복수의 컷아웃들은 2개 이상의 동심 원들로 배열된다.각각의 동심 원은 동일한 개수의 컷아웃들을 포함한다.

대표청구항 ▼

플라즈마 스크린으로서,중앙 개구 및 외측 직경을 갖는 원형 플레이트; 및프로세스 가스가 유동할 수 있도록 상기 원형 플레이트를 관통하여 형성된 복수의 컷아웃(cut out)들를 포함하고,상기 원형 플레이트를 통하는 유동 면적은 상기 프로세스 가스의 유동 경로에서 가장 좁은 면적과 동일하거나 그보다 크며, 상기 복수의 컷아웃들은 동일한 형상 및 동일한 크기를 갖는 세장형 슬롯들이고, 상기 복수의 컷아웃들은 2개 이상의 동심 원들로 배열되며, 각각의 동심 원 내의 상기 복수의 컷아웃들의 총 컷아웃 면적들은 실질적으로 동일한,플라즈마 스

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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