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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0118274 (2020-09-15) | |
공개번호 | 10-2022-0036100 (2022-03-22) | |
등록번호 | 10-2468553-0000 (2022-11-15) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200118274 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-09-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
블랭크마스크는 투명 기판상에 형성된 MoSi 재질의 위상반전막과 Cr 을 포함하는 재질의 차광막을 구비한다.차광막은 투명 기판상에 순차 적층된 제1차광층, 제2차광층 및 반사방지층을 구비한다.반사방지층의 굴절률은 제2차광층보다 크고, 제1차광층의 굴절률은 제2차광층보다 크다.반사방지층의 낮은 표면 반사율과 차광막의 차광 성능이 확보되면서도 차광층의 두께를 줄일 수 있으므로, 고해상도 패턴 형성이 가능한 포토마스크를 제작할 수 있다.
투명 기판상에 형성된 차광막을 구비하는 FPD 용 블랭크마스크로서,상기 차광막은 크롬(Cr)으로 형성되거나, 크롬(Cr)에 질소(N), 산소(O), 탄소(C) 중 어느 하나 이상을 포함하는 크롬 화합물로 구성되고,상기 차광막은 상기 투명 기판상에 순차 적층된 제1차광층, 제2차광층 및 반사방지층을 포함하며,상기 반사방지층의 굴절률 및 상기 제1차광층의 굴절률은 상기 제2차광층보다 크고, 상기 제1차광층과 상기 제2차광층은 0.3 이하의 굴절률 차이를 갖고,상기 제1차광층은 상기 제2차광층보다 높은 소멸계수를 갖고, 상기 제1차광층과
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