최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2020-7017985 (2020-06-22) | |
공개번호 | 10-2020-0090219 (2020-07-28) | |
등록번호 | 10-2412175-0000 (2022-06-20) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-116634 (2018-06-20) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/023222 (2019-06-12) | |
국제공개번호 | WO 2019/244730 (2019-12-26) | |
번역문제출일자 | 2020-06-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207017985 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2020-06-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 진공 처리시에 방전 공간에 배치되는 방착 부재로부터 발생하는 파티클을 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.본 발명은, 진공 처리시에 발생하는 물질의 진공조 내에 대한 부착을 방지하는 방착 부재 (30) 로서, 프레임상의 방착 본체 부재 (10) 와, 방착 본체 부재 (10) 를 유지하는 유지 부재 (20) 를 구비한다. 방착 본체 부재 (10) 는, 기판의 주위에 형성되는 판상의 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 를 가짐과 함께, 제 1 ∼ 제 4 구성 부재 (1 ∼ 4) 는, 진공조 내의 방전 공간에 대향
진공 처리시에 발생하는 물질의 진공조 내에 대한 부착을 방지하는 방착 부재로서, 프레임상의 방착 본체 부재와, 상기 방착 본체 부재를 유지하는 유지 부재를 구비하고, 상기 방착 본체 부재는, 처리 대상물의 주위에 형성되는 복수의 판상의 구성 부재를 가짐과 함께, 상기 복수의 구성 부재는, 상기 진공조 내의 방전 공간에 대향하는 면과 반대측의 면에, 상기 유지 부재에 형성된 복수의 후크부에 걸어 장착하기 위한 걸침부가 각각 형성되고,상기 방착 본체 부재는,상기 복수의 판상의 구성 부재의 둘레 가장자리부에 형성되고, 상기 복수의 판상의
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.