나가타 준이치
/ 일본 가나가와껭 ******* 찌가사끼시 하기소노 ****반찌 가부시키가이샤 아루박 내
출원인 / 주소
가부시키가이샤 아루박 / 일본 가나가와껭 찌가사끼시 하기소노 ****반찌
대리인 / 주소
특허법인 무한
심사청구여부
있음 (2020-06-24)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
본 발명의 스퍼터링 방법은, 피성막 기판에 있어서 막이 형성되는 형성영역을 향해 스팩터 입자를 방출가능한 타겟을 가지는 캐소드 유닛과, 기판면 내측방향이 되는 주사방향에 있어서 상기 피성막 기판에 대해서 상기 캐소드 유닛을 상대적으로 왕복 동작시키는 주사부와, 상기 캐소드 유닛에서의 상기 타겟에 이로젼 영역을 형성하는 마그넷과, 상기 주사방향으로 상기 마그넷을 왕복 동작시키는 마그넷 주사부를 이용한다.상기 캐소드 유닛이 상기 주사부에 의해 상기 주사방향으로 상기 피성막 기판에 대해서 상대적으로 왕복동작되는 동안, 상기 마그넷을 상기
본 발명의 스퍼터링 방법은, 피성막 기판에 있어서 막이 형성되는 형성영역을 향해 스팩터 입자를 방출가능한 타겟을 가지는 캐소드 유닛과, 기판면 내측방향이 되는 주사방향에 있어서 상기 피성막 기판에 대해서 상기 캐소드 유닛을 상대적으로 왕복 동작시키는 주사부와, 상기 캐소드 유닛에서의 상기 타겟에 이로젼 영역을 형성하는 마그넷과, 상기 주사방향으로 상기 마그넷을 왕복 동작시키는 마그넷 주사부를 이용한다.상기 캐소드 유닛이 상기 주사부에 의해 상기 주사방향으로 상기 피성막 기판에 대해서 상대적으로 왕복동작되는 동안, 상기 마그넷을 상기 마그넷 주사부에 의해서 상기 주사방향으로 왕복동작시킨다.상기 피성막 기판에 대한 상기 타겟의 속도에 대응하고, 상기 피성막 기판에 대한 상기 타겟의 왕로동작에서의 상기 마그넷의 왕복동작과, 상기 피성막 기판에 대한 상기 타겟의 귀로동작에서의 상기 마그넷의 왕복동작이 서로 보상하도록 설정된다.
대표청구항▼
스퍼터링 방법으로서,피성막 기판에 있어서 막이 형성되는 형성영역을 향해 스팩터 입자를 방출가능한 타겟을 가지는 캐소드 유닛과, 기판면 내측방향이 되는 주사방향에 있어서 상기 피성막 기판에 대해서 상기 캐소드 유닛을 상대적으로 왕복 동작시키는 주사부와, 상기 캐소드 유닛에서의 상기 타겟에 이로젼 영역을 형성하는 마그넷과, 상기 주사방향으로 상기 마그넷을 왕복 동작시키는 마그넷 주사부를 이용하고,상기 캐소드 유닛이 상기 주사부에 의해 상기 주사방향으로 상기 피성막 기판에 대해서 상대적으로 왕복 동작되는 동안, 상기 마그넷을 상기 마그넷
스퍼터링 방법으로서,피성막 기판에 있어서 막이 형성되는 형성영역을 향해 스팩터 입자를 방출가능한 타겟을 가지는 캐소드 유닛과, 기판면 내측방향이 되는 주사방향에 있어서 상기 피성막 기판에 대해서 상기 캐소드 유닛을 상대적으로 왕복 동작시키는 주사부와, 상기 캐소드 유닛에서의 상기 타겟에 이로젼 영역을 형성하는 마그넷과, 상기 주사방향으로 상기 마그넷을 왕복 동작시키는 마그넷 주사부를 이용하고,상기 캐소드 유닛이 상기 주사부에 의해 상기 주사방향으로 상기 피성막 기판에 대해서 상대적으로 왕복 동작되는 동안, 상기 마그넷을 상기 마그넷 주사부에 의해 상기 주사방향으로 왕복동작시키고,상기 피성막 기판에 대한 상기 타겟의 속도에 대응하고,상기 피성막 기판에 대한 상기 타겟의 왕로동작에서의 상기 마그넷의 왕복동작과,상기 피성막 기판에 대한 상기 타겟의 귀로동작에서의 상기 마그넷의 왕복동작이,서로 보상하도록 설정되고,상기 타겟의 주사방향에 대한 상기 마그넷의 주사방향이 바뀔 때마다, 상기 타겟에 대한 상기 마그넷의 상대속도를 바꾸고,상기 타겟 및 상기 마그넷의 개시위치에 있어서, 상기 마그넷이 상기 주사방향에 있어서 상기 피성막 기판에서 먼 상기 타겟의 단부에 위치하거나, 또는, 상기 마그넷이 상기 주사방향에 있어서 상기 피성막 기판에서 가까운 상기 타겟의 단부에 위치함과 동시에, 상기 타겟의 왕로동작 종료위치에 있어서, 상기 마그넷이 상기 주사방향에 있어서 상기 타겟의 중앙부에 위치하고,상기 피성막 기판에 대한 상기 타겟의 1 왕복동작에 있어서, 상기 타겟에 대한 상기 마그넷의 왕복동작의 회수가 홀수회로 설정되는,스퍼터링 방법.
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