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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7033903 (2020-11-25) | |
공개번호 | 10-2021-0010477 (2021-01-27) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-093572 (2018-05-15) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/019108 (2019-05-14) | |
국제공개번호 | WO 2019/221116 (2019-11-21) | |
번역문제출일자 | 2020-11-25 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207033903 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
MEMS 마이크로폰은, 개구부(11A)를 갖는 유리 기판(11)과, 개구부(11A)를 덮도록 하여 유리 기판(11) 위에 마련되고, 제1 도전층(13B)을 포함하는 멤브레인(13)과, 멤브레인(13)의 상방에 공동(15)을 통해 마련되고, 음파를 통과시키는 복수의 관통 구멍(18)을 갖고, 제2 도전층(16A)을 포함하는 백 플레이트(16)를 포함한다.제1 도전층(13B)은, 금속, 또는 도전성 산화물로 구성된다.제2 도전층(16A)은, 금속, 또는 도전성 산화물로 구성된다.
개구부를 갖는 유리 기판과,상기 개구부를 덮도록 하여 상기 유리 기판 위에 마련되고, 제1 도전층을 포함하는 멤브레인과,상기 멤브레인의 상방에 공동을 통해 마련되고, 음파를 통과시키는 복수의 관통 구멍을 갖고, 제2 도전층을 포함하는 백 플레이트를 구비하고,상기 제1 도전층은, 금속, 또는 도전성 산화물로 구성되며,상기 제2 도전층은, 금속, 또는 도전성 산화물로 구성되는, MEMS 마이크로폰.
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