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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2021-0119023 (2021-09-07) | |
| 공개번호 | 10-2023-0036628 (2023-03-15) | |
| 등록번호 | 10-2579376-0000 (2023-09-12) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020210119023 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-09-07) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 동축 구동형 증착 물질 감지장치를 개시한다. 개시된 동축 구동형 증착 물질 감지장치는, 모터 하우징와, 모터 하우징에 결합되며, 내부에 증착 반응 물질을 감지하는 센서모듈이 회전가능하게 구비되는 센서 케이스와, 센서 케이스의 상측에 회전 가능하게 배치되는 초퍼 플레이트와, 센서모듈에 연결되도록 모터 하우징에 구비되어 센서모듈을 회전하는 제1구동부와, 초퍼 플레이트를 상기 센서모듈의 회전중심과 동일한 회전중심에서 회전시키도록 모터 하우징에 구비되어 초퍼 플레이트에 연결되는 제2구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서
모터 하우징; 상기 모터 하우징에 결합되며, 내부에 증착 반응 물질을 감지하는 센서모듈이 회전가능하게 구비되는 센서 케이스; 상기 센서 케이스의 상측에 회전 가능하게 배치되는 초퍼 플레이트; 상기 센서모듈에 연결되도록 상기 모터 하우징에 구비되어 상기 센서모듈을 회전하는 제1구동부; 및 상기 초퍼 플레이트를 상기 센서모듈의 회전중심과 동일한 회전중심에서 회전시키도록 상기 모터 하우징에 구비되어 상기 초퍼 플레이트에 연결되는 제2구동부;를 포함하며,상기 제2구동부는, 상기 제1구동부의 하측에 위치하도록 상기 제1구동부와 상하 일렬로
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