초록 ▼

본 발명은 정전 척 표면 형상 측정 방법 및 정전 척의 표면 형상에 따른 이슈 분석방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정전 척의 표면을 댐, 엠보스, 포켓 등으로 나누고 나누어진 각각의 표면형상을 측정한 결과를 획득함으로써 보다 정확하게 정전 척의 표면에 대한 분석이 가능한 정전 척 표면 형상 측정 방법 및 정전 척의 표면 형상에 따른 이슈 분석방법에 관한 것이다. 본 발명은, 팁을 포함하는 CMM(Coordinate Measuring Machine)을 이용하여 정전 척의 표면을 측정하는 방법에 있어서, 상기 정전 척의 표면을 댐

본 발명은 정전 척 표면 형상 측정 방법 및 정전 척의 표면 형상에 따른 이슈 분석방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정전 척의 표면을 댐, 엠보스, 포켓 등으로 나누고 나누어진 각각의 표면형상을 측정한 결과를 획득함으로써 보다 정확하게 정전 척의 표면에 대한 분석이 가능한 정전 척 표면 형상 측정 방법 및 정전 척의 표면 형상에 따른 이슈 분석방법에 관한 것이다. 본 발명은, 팁을 포함하는 CMM(Coordinate Measuring Machine)을 이용하여 정전 척의 표면을 측정하는 방법에 있어서, 상기 정전 척의 표면을 댐(Dam) 영역, 포켓(Pocket) 영역 및 엠보스(Emboss) 영역으로 구분하고 각 영역의 좌표를 획득하는 영역 좌표 획득 단계; 상기 팁을 상기 댐의 중심을 기준으로 댐을 따라 이동시키면서 일정각 간격으로 댐의 표면을 측정하는 댐 측정 단계; 상기 영역 좌표 획득 단계에서 획득된 엠보스의 좌표에 맞추어 상기 팁을 이동시키면서 엠보스 표면을 측정하는 엠보스 측정 단계; 상기 영역 좌표 획득 단계에서 획득된 포켓 영역 중 측정을 하고자 하는 영역의 좌표에 맞추어 팁을 이동시키면서 포켓 표면을 측정하는 포켓 측정 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척의 표면 측정 방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

팁을 포함하는 CMM(Coordinate Measuring Machine)을 이용하여 정전 척의 표면을 측정하는 방법에 있어서,상기 정전 척의 표면을 댐(Dam) 영역, 포켓(Pocket) 영역 및 엠보스(Emboss) 영역으로 구분하고 각 영역의 좌표를 획득하는 영역 좌표 획득 단계;상기 팁을 상기 댐의 중심을 기준으로 댐을 따라 이동시키면서 일정각 간격으로 댐의 표면을 측정하는 댐 측정 단계;상기 영역 좌표 획득 단계에서 획득된 엠보스의 좌표에 맞추어 상기 팁을 이동시키면서 엠보스 표면을 측정하는 엠보스 측정 단계;상기 영역 좌

팁을 포함하는 CMM(Coordinate Measuring Machine)을 이용하여 정전 척의 표면을 측정하는 방법에 있어서,상기 정전 척의 표면을 댐(Dam) 영역, 포켓(Pocket) 영역 및 엠보스(Emboss) 영역으로 구분하고 각 영역의 좌표를 획득하는 영역 좌표 획득 단계;상기 팁을 상기 댐의 중심을 기준으로 댐을 따라 이동시키면서 일정각 간격으로 댐의 표면을 측정하는 댐 측정 단계;상기 영역 좌표 획득 단계에서 획득된 엠보스의 좌표에 맞추어 상기 팁을 이동시키면서 엠보스 표면을 측정하는 엠보스 측정 단계;상기 영역 좌표 획득 단계에서 획득된 포켓 영역 중 측정을 하고자 하는 영역의 좌표에 맞추어 팁을 이동시키면서 포켓 표면을 측정하는 포켓 측정 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척의 표면 측정 방법.