초록 ▼

[과제] 증착 재료에 의한 분출 노즐의 폐색을 억제한다.[해결수단] 증착원에 있어서, 증착 용기는, 저부와 상기 저부에 연설된 측벽부를 포함하는 용기 본체와, 상기 저부에 대향하고, 분출 노즐이 설치된 천판을 가지고, 상기 용기 본체와 상기 천판에 의해 둘러싸인 공간에 증착 재료가 수용된다.제1 가열 기구는, 상기 측벽부에 대향한다.제2 가열 기구는, 상기 천판 및 상기 분출 노즐의 각각의 측부에 대향하고, 상기 제1 가열 기구와는 상기 저부로부터 상기 천판을 향하는 방향으로 이간해 설치된다.제1 리플렉터는, 상기 제1 가열 기구와

[과제] 증착 재료에 의한 분출 노즐의 폐색을 억제한다.[해결수단] 증착원에 있어서, 증착 용기는, 저부와 상기 저부에 연설된 측벽부를 포함하는 용기 본체와, 상기 저부에 대향하고, 분출 노즐이 설치된 천판을 가지고, 상기 용기 본체와 상기 천판에 의해 둘러싸인 공간에 증착 재료가 수용된다.제1 가열 기구는, 상기 측벽부에 대향한다.제2 가열 기구는, 상기 천판 및 상기 분출 노즐의 각각의 측부에 대향하고, 상기 제1 가열 기구와는 상기 저부로부터 상기 천판을 향하는 방향으로 이간해 설치된다.제1 리플렉터는, 상기 제1 가열 기구와 대향하고, 상기 측벽부의 반대측에 설치된다.제2 리플렉터는, 상기 제2 가열 기구와 대향하고, 상기 측부의 반대측에 설치되어, 상기 제1 리플렉터와는 상기 방향으로 이간해 설치된다.

대표청구항 ▼

저부와 상기 저부에 연설된 측벽부를 포함하는 용기 본체와, 상기 저부에 대향하고, 분출 노즐이 설치된 천판을 가지고, 상기 용기 본체와 상기 천판에 의해 둘러싸인 공간에 증착 재료가 수용되는 증착 용기와,상기 측벽부에 대향하는 제1 가열 기구와,상기 천판 및 상기 분출 노즐의 각각의 측부에 대향하고, 상기 제1 가열 기구와는 상기 저부로부터 상기 천판을 향하는 방향으로 이간해 설치된 제2 가열 기구와,상기 제1 가열 기구와 대향하고, 상기 측벽부의 반대측에 설치된 제1 리플렉터와,상기 제2 가열 기구와 대향하고, 상기 측부의 반대측

저부와 상기 저부에 연설된 측벽부를 포함하는 용기 본체와, 상기 저부에 대향하고, 분출 노즐이 설치된 천판을 가지고, 상기 용기 본체와 상기 천판에 의해 둘러싸인 공간에 증착 재료가 수용되는 증착 용기와,상기 측벽부에 대향하는 제1 가열 기구와,상기 천판 및 상기 분출 노즐의 각각의 측부에 대향하고, 상기 제1 가열 기구와는 상기 저부로부터 상기 천판을 향하는 방향으로 이간해 설치된 제2 가열 기구와,상기 제1 가열 기구와 대향하고, 상기 측벽부의 반대측에 설치된 제1 리플렉터와,상기 제2 가열 기구와 대향하고, 상기 측부의 반대측에 설치되어, 상기 제1 리플렉터와는 상기 방향으로 이간해 설치된 제2 리플렉터를 구비하고,상기 제1 리플렉터와 상기 제2 리플렉터가 이간한 공간 영역에 대향하는 상기 용기 본체의 표면의 열 복사율은,상기 표면 이외의 상기 용기 본체의 표면의 열 복사율 보다 높은증착원.