[특허]고압 처리에 의한 텅스텐 탈플루오린화를 위한 어닐링 시스템

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/67 C23C-016/14 C23C-016/56 H01L-021/321 H01L-021/768 H01L-027/115
출원번호	10-2022-7004404 (2022-02-09)
공개번호	10-2022-0025181 (2022-03-03)
등록번호	10-2467700-0000 (2022-11-11)
우선권정보	미국(US) 15/605,769 (2017-05-25)
국제출원번호	PCT/US2018/034036 (2018-05-23)
국제공개번호	WO 2018/217834 (2018-11-29)
번역문제출일자	2022-02-09
DOI	http://doi.org/10.8080/1020227004404
발명자 / 주소	웡, 키스 태츤 / 미국 *** 캘리포니아주 로스 가토스 베토벤 레인 * 퀑, 토마스 종완 / 미국 *** 캘리포니아주 더블린 탈레 웨이 강, 션 / 미국 * 캘리포니아주 산 라몬 홀본 웨이 예, 엘리 와이. / 미국 * 캘리포니아주 산 호세 피스토이아 웨이 **
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	양영준; 백만기
심사청구여부	있음 (2022-02-09)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

작업부재 상의 텅스텐 막을 처리하는 공정들과 관련된 방법들 및 시스템들은, 챔버 내에 작업부재를 지지하는 것, 챔버 내로 수소 가스를 도입하는 것, 적어도 5 기압의 압력을 설정하는 것, 및 챔버 내의 압력이 적어도 5 기압인 동안 작업부재 상의 텅스텐 막을 수소 가스에 노출시키는 것을 포함한다.

대표청구항 ▼

어닐링 시스템으로서,챔버를 정의하는 챔버 몸체;작업부재의 외측 표면이 상기 챔버 내의 환경에 노출되게 상기 작업부재를 유지하기 위한 지지부;상기 챔버 내에 상기 작업부재를 삽입하기 위한 로봇;수소 가스를 제공하기 위한 제1 가스 공급부;상기 챔버 내의 압력을 적어도 5 기압으로 상승시키기 위해 상기 챔버에 결합되는 압력 소스; 및상기 로봇, 상기 제1 가스 공급부, 및 상기 압력 소스에 결합되는 제어기를 포함하며, 상기 제어기는, 상기 로봇으로 하여금, 상부에 금속 막을 갖는 작업부재를 상기 챔버 내로 운반하게 하고 - 상기 금속 막은 표면에 또는 상기 금속 막 내에 매립된 플루오린을 포함함 -, 상기 제1 가스 공급부로 하여금, 상기 수소 가스를 상기 챔버에 공급하여 내부에 원자 수소를 형성하게 하고, 상기 압력 소스로 하여금, 상기 작업부재가 상기 챔버 내의 상기 지지부 상에 유지되는 동안 상기 챔버 내의 압력을 적어도 5 기압으로 상승시키게 하도록 구성되는, 어닐링 시스템.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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