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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7004404 (2022-02-09) | |
공개번호 | 10-2022-0025181 (2022-03-03) | |
등록번호 | 10-2467700-0000 (2022-11-11) | |
우선권정보 | 미국(US) 15/605,769 (2017-05-25) | |
국제출원번호 | PCT/US2018/034036 (2018-05-23) | |
국제공개번호 | WO 2018/217834 (2018-11-29) | |
번역문제출일자 | 2022-02-09 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227004404 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-02-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
작업부재 상의 텅스텐 막을 처리하는 공정들과 관련된 방법들 및 시스템들은, 챔버 내에 작업부재를 지지하는 것, 챔버 내로 수소 가스를 도입하는 것, 적어도 5 기압의 압력을 설정하는 것, 및 챔버 내의 압력이 적어도 5 기압인 동안 작업부재 상의 텅스텐 막을 수소 가스에 노출시키는 것을 포함한다.
어닐링 시스템으로서,챔버를 정의하는 챔버 몸체;작업부재의 외측 표면이 상기 챔버 내의 환경에 노출되게 상기 작업부재를 유지하기 위한 지지부;상기 챔버 내에 상기 작업부재를 삽입하기 위한 로봇;수소 가스를 제공하기 위한 제1 가스 공급부;상기 챔버 내의 압력을 적어도 5 기압으로 상승시키기 위해 상기 챔버에 결합되는 압력 소스; 및상기 로봇, 상기 제1 가스 공급부, 및 상기 압력 소스에 결합되는 제어기를 포함하며, 상기 제어기는, 상기 로봇으로 하여금, 상부에 금속 막을 갖는 작업부재를 상기 챔버 내로 운반하게 하고 - 상기 금속
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