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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2024-0054194 (2024-04-23) | |
공개번호 | 10-2024-0063077 (2024-05-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020240054194 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2024-04-23) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 온도 제어 방법을 제공한다. 챔버로 전달되는 처리 유체를 저장하는 탱크 내 온도 제어 방법은, 상기 탱크가 가지는 내부 공간으로 상기 처리 유체를 공급하고, 상기 내부 공간에서 상기 처리 유체를 가열하고, 가열된 상기 처리 유체를 상기 챔버로 전달하되, 상기 내부 공간의 온도는, 상기 내부 공간의 압력을 측정하고, 측정된 상기 압력에 근거하여 상기 내부 공간의 온도를 조절될 수 있다.
챔버로 전달되는 처리 유체를 저장하는 탱크 내 온도 제어 방법에 있어서,상기 탱크가 가지는 내부 공간으로 상기 처리 유체를 공급하고, 상기 내부 공간에서 상기 처리 유체를 가열하고, 가열된 상기 처리 유체를 상기 챔버로 전달하되,상기 내부 공간의 압력은 상기 탱크를 가열 및/또는 상기 내부 공간으로 상기 처리 유체를 공급하여 기 설정된 압력 및 기 설정된 온도로 유지되고,상기 내부 공간의 압력이 상기 기 설정된 압력으로 유지되고 난 이후, 상기 내부 공간의 상기 처리 유체를 상기 챔버로 공급하여 상기 내부 공간의 압력이 낮아지면,
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