초록 ▼

본 발명의 실시예는 물체 간의 접촉시 발생하는 충격으로 인한 손상 및 파티클을 저감시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 서로 결합되어 내부에 처리 공간을 형성하는 제1 바디와 제2 바디를 포함하는 공정 챔버와, 상기 제1 바디와 상기 제2 바디를 클램핑하는 클램핑 부재와, 상기 제1 바디 또는 상기 제2 바디에 대하여 상기 클램핑 부재가 접촉하는 접촉 영역에 형성된 홈에 장착되는 마찰 방지 부재를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 제1 바디 및 제2 바디와 잠금

본 발명의 실시예는 물체 간의 접촉시 발생하는 충격으로 인한 손상 및 파티클을 저감시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 서로 결합되어 내부에 처리 공간을 형성하는 제1 바디와 제2 바디를 포함하는 공정 챔버와, 상기 제1 바디와 상기 제2 바디를 클램핑하는 클램핑 부재와, 상기 제1 바디 또는 상기 제2 바디에 대하여 상기 클램핑 부재가 접촉하는 접촉 영역에 형성된 홈에 장착되는 마찰 방지 부재를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 제1 바디 및 제2 바디와 잠금 부재가 접촉하는 접촉 영역에 형성된 홈에 장착되는 마찰 방지 부재를 구비함으로써 접촉시 발생하는 충격으로 인한 손상 및 파티클을 저감시킬 수 있다.

대표청구항

서로 결합되어 내부에 처리 공간을 형성하는 제1 바디와 제2 바디를 포함하는 공정 챔버;상기 제1 바디와 상기 제2 바디를 클램핑하는 클램핑 부재; 및상기 제1 바디 또는 상기 제2 바디에 대하여 상기 클램핑 부재가 접촉하는 접촉 영역에 형성된 홈에 장착되는 마찰 방지 부재를 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는 상기 홈의 주변부 보다 돌출하고,상기 마찰 방지 부재와 상기 홈의 측벽과의 사이에 일정 간격이 형성되는 기판 처리 장치.

서로 결합되어 내부에 처리 공간을 형성하는 제1 바디와 제2 바디를 포함하는 공정 챔버;상기 제1 바디와 상기 제2 바디를 클램핑하는 클램핑 부재; 및상기 제1 바디 또는 상기 제2 바디에 대하여 상기 클램핑 부재가 접촉하는 접촉 영역에 형성된 홈에 장착되는 마찰 방지 부재를 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는 상기 홈의 주변부 보다 돌출하고,상기 마찰 방지 부재와 상기 홈의 측벽과의 사이에 일정 간격이 형성되는 기판 처리 장치.