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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0234695 (2002-09-04) |
우선권정보 | KR-0054434 (2001-09-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 4 |
An electrostatic chuck includes: a metal plate; a dielectric layer on the metal plate, the dielectric layer and the metal plate having a lift pin hole and an injection hole of a cooling gas; a lift pin moving up-and-down through the lift pin hole; first protection insulator on an inner surface of th
1. An electrostatic chuck, comprising:a metal plate; an inner electrode on the metal plate; a dielectric layer on the inner electrode, the dielectric layer, the inner electrode and the metal plate having a lift pin hole and an injection hole of a cooling gas; a lift pin moving up-and-down through th
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