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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 유헌수 |
참여연구자 | 김민식 , 김성녕 , 전종업 , 조성국 , 양선규 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1989-11 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200000686 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 초정밀 가공.초정밀 가공기.정압공기베어링.Ultra High Precisiton.Ultra Precision M/C.Airostratic Bearing. |
초징밀 가공기계의 부분별 기능을 파악하고 Polygon Mirror의 제작에 적합한 기계의 사양을 정한 후 Prototype의 Fly Cut 방식에 의한 기계를 설계 제작하였다. 주축과 이송 Table은 Air Bearing을 사용하였으며 기계 구조물은 정반에 부품고정을 위한 홈을 파서 제작하였고 Friction Driver를 이용하여 Table의 상면을 이송시켰고 ±3"의 정밀도를 갖는 Indexing Table로 Polygon Mirror의 각면을 가공할 수 있도록 회전을 시켰다. 이렇게 제작된 기계는 20℃±1℃로 온도제어 그
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