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연합인증

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MOCVD precursor 연구에 관한 연구 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 유피케미칼
UP Chemical
연구책임자 신현국
참여연구자 김범수
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1995-11
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 U.P.C
등록번호 TRKO200200009165
DB 구축일자 2013-04-18

초록

목차 Contents

  • 제 1 장 서론...15
  • 제 1 절 전구체(precursor)의 중요성...15
  • 제 2 절 MOCVD용 precursor의 필요조건...20
  • 제 2 장 본론...22
  • 제 1 절 TiN-MOCVD용 precursor연구...22
  • 2-1-1 연구의 배경...22
  • 2-1-2 연구의 방향...27
  • 2-1-3 새로운 전구체 TAMAT의 개발...28
  • 2-1-4 TAMAT의 특성...39
  • 2-1-5 TiN-MOCVD from TEMAT...42
  • 제 2 절 Cu-MOCVD용 precursor연구...50
  • 2-2-1 연구의 배경...50
  • 2-2-2 연구의 방향...54
  • 2-2-3 새로운 전구체 (hafac)Cu(VTMOS)의 개발...56
  • 2-2-4 신규(hafac)Cu(VTMOS)의 특성...64
  • 2-2-5 신규(hafac)Cu(VTMOS)으로부터의 Cu-MOCVD...66
  • 제 3 장 결론...68
  • 제 1 절 1차년도연구의 결론...68
  • 제 2 절 추후계획...71
  • 제 3 절 참고문헌 및 발표자료...72
  • 3-3-1 참고문헌...72
  • 3-3-2 발표자료...76

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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